ERON-NABEYA雅朗 E-1125/可升降防振底脚(
品牌:ERON(雅朗)
型号:G5C2586C5A4948
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●特殊水平机构可发挥优异的隔振性能
●全系列采用统一高度
●自动调平功能可对应偏载状态
●可用于无尘室(集中排气:选项)
●附带防止过度上浮机构
■用途
●半导体制造装置、检查装置(步进式曝光机、FIB装置)
●化学分析设备(薄膜硬度计、核磁共振仪)
●各种精密检查及测量仪、平台
■性能
水平1.5Hz 垂直2.5Hz
一般:约4sec→高性能:约1.5sec
■规格
使用压力范围 : 0.1~0.4(MPa) / 固有振动数 : 水平1.5Hz 垂直 2.5Hz 以下
订单号 | 型号 | A | B | C | D | 产品重量1个(4个) | 容许负荷(4个防振座) | |
kg | kg | N | ||||||
116411 | AMG070 | 125 | 90 | 185 | φ10 | 3.5 (14.0) | ~ 420 | ~ 4116 |
116412 | AMG100 | 150 | 120 | φ10 | 5.2 (20.8) | ~ 730 | ~ 7154 | |
116413 | AMG200 | 200 | 160 | φ10 | 8.3 (33.2) | ~1300 | ~12740 | |
116414 | AMG500 | 250 | 200 | φ14 | 16.6 (66.4) | ~3000 | ~29400 | |
116415 | AMG800 | 320 | 250 | φ18 | 28.1(112.4) | ~4700 | ~46060 |
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