ZEISS蔡司三坐标测量机的性能如下：
测量范围：
X轴范围：1000mm
Y轴范围：1200mm
Z轴范围：600mm
环境状态：
温度范围：18°C至22°C
相对湿度：40%至60%
供气压力：不明确提供具体数值
机床精度：
MPE-E（测量误差）：(1.9 + L/300)um，其中L指代测量长度（单位为mm），表示测量误差随着测量长度的增加而逐渐增大。
MPE-P（位置误差）：1.9um，表示位置误差为固定值1.9um。
同时ZEISS蔡司三坐标具有以下特征：
开放桥式结构：采用开放的桥式结构，配备花岗岩工作台和龙门移动系统，提供稳定的测量平台。
工业陶瓷材料：横梁和主轴采用工业陶瓷材料，具有优异的刚性和稳定性。
气浮轴承：采用气浮轴承四面环抱，确保机器的运行稳定性和可靠性。
集成减震系统：内置减震系统，对地基的要求相对较低，适应一般情况下的安装环境。
微处理器CNC矢量控制系统：采用微处理器CNC矢量控制系统，具有高可靠性和精确的控制动作，带有防碰撞功能。
主动式扫描发生器和蔡司玻璃光栅尺：配备主动式扫描发生器和蔡司玻璃光栅尺，可实现高精度的测量，分辨率达到0.2um。
空间速度：最大空间速度为425mm/s，可以快速、高效地进行测量操作。
蠕动速度控制状态：在CNC测量时，可以转接到蠕动速度控制状态，范围为0-5mm/s，方便进行深孔测量和目力无法观察到的细微变化的检测。
这些特征使得ZEISS蔡司三坐标具备高精度、稳定性和可靠性，在各种测量应用中表现出色。
这些性能指标描述了ZEISS蔡司三坐标测量机在给定环境条件下的测量范围、精度和稳定性。请注意，供气压力并未提供具体数值，因此无法给出详细的描述。如果有特定的应用要求或更详细的性能规格需求，建议直接联系思诚资源公司以获取准确的信息。
