蔡司三坐标测量机一般都采用气浮轴承，因此需要压缩空气；压缩空气的质量直接影响蔡司三坐标测量机的正常工作及使用寿命；因此气源处理，就显得尤为重要。
一般来说，蔡司三坐标测量机的气源的杂质主要来源于：由系统外部通过空压机等吸入的杂质、系统内部产生的杂质和系统安装和维修时产生的杂质。从空压机输出的压缩空气中，含有大量的水分，油分和粉尘等杂质，必须适当的清除这些杂质，以避免他们对气动系统的正常工作造成的危害；
变质油分的粘度增大，从液态铸件固态化而形成油泥，这样会堵塞气浮块的气孔，造成气动元件内的相对运动件的动作不灵活。水分会腐蚀金属零件，管道内滞留冷凝水，会导致流量不足，压力损失增大。铁屑和粉尘使运动部件磨损，造成元件动作不良，粉尘会加速密封件损伤，导致漏气。
空气质量不良也是气动系统出现故障的主要的因素，使气动系统的可靠性和使用寿命大大降低。因此，蔡司三坐标测量机一般都配备气源处理组件，进行压缩空气的净化处理；
