平行平晶
VS
平面平晶
项目 | 平行平晶 | 平面平晶 |
英文名称 | Optical Parallels | Optical Flats |
日文表述 | オプチカルパラレル | オプチカルフラット |
产品 图片 |
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精度 等级 | 1级
| 2级
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检测 项目 | 千分尺测量面的平行度和平面度 | 测量面的平面度 |
测量 方式 | 将平行平晶紧贴测砧的测量面,观察在测力作用下测微螺杆方向产生的红色干涉条纹数量 | 通过平面平晶的干涉条纹检测平面度 |
测量 示例 |
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干涉条纹 检测图例 |
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干涉条纹 的说明 | 上图中为0.32μm×3=0.96μm,平行度约1μm | 左图1为沟槽状压痕形成的干涉条纹,0.32μm×4=1.28μm,平面度约1.3μm, 右图2为钵状压痕形成的干涉条纹,0.32μm×2=0.64μm,平面度约0.6μm |